Mit dieser Mikroröntgenanlage lassen sich Vergrößerungen von mehreren Hundert erreichen. Die Anlage verfügt über eine Mikrofokusröhre (links), deren Brennfleck durch eine aufwändige Elektronenoptik auf das physikalisch mögliche Minimum von 5 µm gebracht wurde. Die Mikrofokustechnik in Verbindung mit einem 3-D-Manipulator wird auch zur Erstellung von Mikro-Tomographien verwendet. Hierbei werden im Unterschied zu den bekannten Geräten in der Medizin nicht Röhre und Bildsensor um das Untersuchungsobjekt bewegt, sondern das Objekt wird im Strahlengang gedreht. Ziel der Aufnahmen ist, eine besonders günstige Abbildungsgeometrie der Grenzflächen zu erreichen und wo nötig, die Tomographieschichten so dick zu wählen, dass Störstrukturen undeutlich dargestellt werden.
